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                利用平行光檢查燈在潔凈室中發現微粒particle

                作者:美國路陽時間:2021-11-23 12:35瀏覽1103 次

                信息摘要:

                很多行業的元器件,如半導體元器件、光學鏡頭、液晶面板等在制造過程中,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒;對于制造中的某些步驟,例如半導體,在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會影響產品質量并造成重大損失。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的。

                利用LUYOR-3320平行光檢查燈在潔凈室中發現微粒(PARTICLE)

                很多行業的元器件,如半導體元器件、光學鏡頭、液晶面板等在制造過程中,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒;對于制造中的某些步驟,例如半導體,在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會影響產品質量并造成重大損失。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的。

                film2-96.jpg

                盡管潔凈室非常干凈,但是,潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外,這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產生。(例如來自皮膚表面的死皮細胞)。

                wafer2.jpg

                在潔凈室中,一些沒有氣流的區域(死點)會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾,這些空氣中的微塵會直接落到產品或工作人員身上,而不會被粒子計數器感應到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內的空氣中漂浮。當它們因靜電或極性聚集在一起時,很難將粘性灰塵吹到排氣口。


                對于這種吸附的顆粒,不僅空氣過濾器的收集效率低,而且粒子計數器也難以感應,而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上,可能會影響產量。(路徑越細,影響越大。)


                如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒,就無法有效地清潔灰塵,從而造成損失。因此,在潔凈室中,如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320,就能有效檢測產品上的粘塵,從而降低不良率。

                light70401c.jpg

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                平行光表面檢查燈LUYOR-3320

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